生成硅酸和氯化氢。

三氯硅烷是一种含有硅，氢和氯元素的化合物，溶于苯、醚等多数有机溶剂，相对密度为1.37，相对密度为4.7，性质稳定 。对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度下，引起角膜混浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿。与氧化剂发生反应，有燃烧危险。极易挥发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。当发生泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入，切断火源。应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿消防防护服，从上风处进入现场。切断泄漏源，防止进入下水道、排洪沟等限制性空间。