非晶硅：又称无定形硅。单质硅的一种形态。棕黑色或灰黑色的微晶体。硅不具有完整的金刚石晶胞，纯度不高。熔点、密度和硬度也明显低于晶体硅。化学性质比晶体硅活泼。可由活泼金属在加热下还原四卤化硅，或用碳等还原剂还原二氧化硅制得。采用辉光放电气相沉积法就得含氢的非晶硅薄膜。