1、多晶硅，是熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅；

2、单晶硅，硅的单晶体，具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料；

3、低温硅，是指硅烷在低温下由分解反应形成的单质硅，其与多晶硅的原子排列形式不同，又称为无定形硅。