导读硅的提纯方法,具不完全统计,有十几种,目前常用的方法为工业提纯法。工业制取高纯单晶硅的步骤如下:1、首先由石英砂和焦炭在电弧炉中制取纯度较低的粗硅;2、然后将粗硅
硅的提纯方法,具不完全统计,有十几种,目前常用的方法为工业提纯法。
工业制取高纯单晶硅的步骤如下:
1、首先由石英砂和焦炭在电弧炉中制取纯度较低的粗硅;
2、然后将粗硅转化为有挥发性并易提纯的四氯化硅或三氯氢硅;
3、再用精馏法提纯四氯化硅或三氯氢硅,在电炉中用氢气还原,得到纯度较高的硅;
4、最后用区域熔融法进一步提纯并制成高纯单晶硅。
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