设立外商企业审批程序有：

1、至工商登记部门进行企业名称预先核准；

2、至审批机关报批；

3、凭审批机关批复至市技术监督局领取企业组织代码证；

4、至审批机关打印批准证书；

5、至工商登记部门登记；

6、办理其他外汇等相关手续。