臭氧是大气中氧分子受太阳辐射分解成氧原子后，又与周围氧分子结合而形成的，臭氧不仅本身有害，其大气质量浓度还反映了大气的氧化能力，也就是生成二次污染物的能力。

臭氧，化学分子式为O3，又称三原子氧、超氧，因其类似鱼腥味的臭味而得名，在常温下可以自行还原为氧气。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子携带一个氧原子组成，决定了它只是一种暂存状态。