光切显微镜是一种专用测量光洁度的设备。

测量光洁度的方法如下：

1、光切法显微镜可用测微目镜测出表面平面度平均高度值；

2、被检工作物的安放和显微镜调焦；

3、轮廓平面度的测量，带辅助物镜的物镜放大倍数；

4、表面显微轮廓的摄像，计算光洁度。